论文部分内容阅读
振动是提高纳米测量精度的主要障碍之一。抗振、隔振、振动补偿技术成为纳米测量领域中的一大分支，特别是纳米级振动测试技术的发展，对于纳米学科的研究具有非常重要的意义。本课题从对STM的振动敏感性的分析出发，对基于隧道效应的纳米级振动的理论、技术及测试方法进行了初步的研究和探索，分析了振动对STM的影响。本文使用纳米级的微动平台作为调整机构，配合自行研制的隧道电流传感器，通过外加振动源，在隧道状态下对纳米级振动进行了检测实验。实验表明基于隧道效应的振动检测系统具有很高的灵敏度，良好的频