纳米级振动相关论文
振动是提高纳米测量精度的主要障碍之一。抗振、隔振、振动补偿技术成为纳米测量领域中的一大分支,特别是纳米级振动测试技术的发展......
使用德国SIOS公司生产的纳米坐标测量机微动平台作为调整机构,配合自行研制的隧道电流传感器,通过外加振动源,在隧道状态下对纳米......