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AlN原料的纯度与粒径尺寸是提高AlN晶体的生长速率和晶体质量的重要因 素[1].本研究先后进行了高温烧结以提纯原料，以及通过研磨来降低原料粒径，获得了1英寸AlN多晶锭，最大单晶区为5×5mm2.
原料处理对AlN晶体生长速率的影响和晶粒长大机理研究
【摘 要】
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AlN原料的纯度与粒径尺寸是提高AlN晶体的生长速率和晶体质量的重要因 素[1].本研究先后进行了高温烧结以提纯原料，以及通过研磨来降低原料粒径，获得了1英寸AlN多晶锭，最大单晶区为5×5mm2.
【机 构】
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哈尔滨工业大学深圳研究生院 哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所
【出 处】
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第17届全国晶体生长与材料学术会议
【发表日期】
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2015年5期
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