【摘 要】
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随着以镓、砷为主的单晶市场的正式开展,拉制单晶的不可缺少的坩埚材料的研制工作开始活跃起来。拉制 GaAs 用 PBN(热分解氮化硼)坩埚污染少,但价格甚高(即便考虑订货量,一
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随着以镓、砷为主的单晶市场的正式开展,拉制单晶的不可缺少的坩埚材料的研制工作开始活跃起来。拉制 GaAs 用 PBN(热分解氮化硼)坩埚污染少,但价格甚高(即便考虑订货量,一个直径6时的坩埚需150万日元),只有美国联合炭素工厂生产此种材料,此种材料随使用时间增加其脱皮量增
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