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本文提出了一种快速制备电化学反应中工作电极阵列的方法.此法利用集成电路制造工艺,将TiW-Au溅射在玻璃基片上,并通过曝光显影等加工工艺,利用感光胶SU-8作为绝缘层,制造出了直径为1mm和0.5mm的圆盘电极阵列,并通过检测金属氰化物和酚类化合物,表明该电极性能优良.
电化学反应中圆盘电极阵列的制备
【摘 要】
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本文提出了一种快速制备电化学反应中工作电极阵列的方法.此法利用集成电路制造工艺,将TiW-Au溅射在玻璃基片上,并通过曝光显影等加工工艺,利用感光胶SU-8作为绝缘层,制造出
【机 构】
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东南大学生物电子学国家重点实验室,东南大学
【出 处】
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
【发表日期】
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2005年期
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