【摘 要】
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微机电系统MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)是将微电子技术与传统的传感器技术相结合产生的,它是具有微传感器、微处理器、微执行器等智能的微型机械系统,将有广泛的使用
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所,300220
【出 处】
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
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微机电系统MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)是将微电子技术与传统的传感器技术相结合产生的,它是具有微传感器、微处理器、微执行器等智能的微型机械系统,将有广泛的使用前途.本文介绍N/P+型扩散片的制造工艺,N区域用于制造半导体芯片.利用P+区的自停止腐蚀特性,形成P+微型薄膜,薄膜机械形变产生的电信号,传输给微型传感器,构成一个完整的微机电系统.
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