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在诸多影响红外探测器性能稳定性的因素中,InSb表面的自然氧化是其中的一种,本文通过XPS和SAMAuger对InSb表面的氧化物含量与接触空气时间的关系以及各元素氧化物价态作了初步的分析.
InSb的氧化膜研究
【摘 要】
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在诸多影响红外探测器性能稳定性的因素中,InSb表面的自然氧化是其中的一种,本文通过XPS和SAMAuger对InSb表面的氧化物含量与接触空气时间的关系以及各元素氧化物价态作了初步的分析.
【机 构】
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华北光电技术研究所(北京)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2003年1期
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