【摘 要】
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在MEMS设计领域，器件的建模和仿真始终是研究的热点，同时也是MEMS设计过程中至关重要的环节。因为MEMS器件的三维结构属性以及机械运动特性，本文提出了参数化的MEMS器件可视化建模方法和工具——虚拟组装。虚拟组装小仅包含了MEMS器件三维拓扑模型的构建和组装过程，而且针对MEMS的机械运动特性，包含了部件动态模型的组装。虚拟组装以部件库为基础，通过将参数化的部件进行三维拓扑结构和动态模型的组装
【机 构】
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南开大学机器人与信息自动化研究所，天津 300071
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在MEMS设计领域，器件的建模和仿真始终是研究的热点，同时也是MEMS设计过程中至关重要的环节。因为MEMS器件的三维结构属性以及机械运动特性，本文提出了参数化的MEMS器件可视化建模方法和工具——虚拟组装。虚拟组装小仅包含了MEMS器件三维拓扑模型的构建和组装过程，而且针对MEMS的机械运动特性，包含了部件动态模型的组装。虚拟组装以部件库为基础，通过将参数化的部件进行三维拓扑结构和动态模型的组装，可以生成MEMS器件的逻辑模型。同时结合通用的MEMS器件可视化行为级仿真工具——虚拟运行，最终实现MEMS器件的可视化建模和仿真系统。
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