面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模

来源 :微电子学 | 被引量 : 2次 | 上传用户：honeypan

【摘要】

：

MEMS器件设计流程中,为优化MEMS器件,常常需要对MEMS掩模进行精化设计。为了在MEMS精化设计中同步更新MEMS掩模与几何模型,提出一种面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模方法。该方法主要通过建立MEMS器件几何模型和工艺模型之间的依赖关系图,通过变动依赖关系,求出掩模精化所影响的几何元素,而后在几何模型中仅仅更新所影响的几何元素;对于所对应的几何模型存在拓扑突变等情况,该方法采用

【作者】

：

赵晓霞李建华凌浩刘玉生郭卫斌何高奇

【机构】

：

华东理工大学,计算机科学与工程系,上海,200237;浙江大学,计算机辅助设计与图形学国家重点实验室,杭州,310027

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

2011年02期

【关键词】

：

计算机辅助设计微机电系统表面微加工几何建模掩模精化

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