高性能陶瓷、晶体材料由于其诸多的优异性能广泛地应用于航空航天,军事探测等领域,痕量元素的含量及分布影响材料性能.目前,陶瓷、晶体原料中微量/痕量元素的定量分析主要通过高灵敏度的光谱/质谱技术.但是,陶瓷材料和晶体大多具有良好的耐腐蚀性,即使在高温高压和强酸下消解成液体也非常困难,且耗时,极大阻碍了湿化学分析方法的应用,而且还无法获得元素在材料中的分布信息.因此,亟需发展新的分析技术或方法.激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法(LA-ICP-MS作为一种固体直接进样技术，不需要将样品消解成溶液，可用于样品的整体分析和原位微区分析，广泛应用于地质、生物科学、材料科学、生命科学等领域。文中主要介绍利用LA-ICP-MS对碳化硅陶瓷、Cr:ZnSe中痕/微量元素的分析研究。实验研究了样品基体效应、分馏效应和干扰对分析结果的影响。根据样品的物理化学性质差异导致不同剥蚀行为，需要不同的标准物质进行准确的定量分析校准。通过同标准参考物质或对固体样品湿法消解后利用ICP-AES/MS得到结果进行对比，验证了结果的准确性和可靠性。