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本文利用LA-ICP-MS 对碳化硅陶瓷和PbF2 晶体中痕/微量元素的分析研究。优化了LA-ICP-MS 分析无机材料(高硬度,高密度及高透明度)的仪器操作条件,尽可能减小元素分馏效应及可能存在的干扰。采用内标外标相结合的校准方法对SiC 粉末及器件和PbF2晶体材料中的痕量金属元素进行定量分析和微区分析比较,通过同标准参考物质或对固体样品湿法消解后利用ICP-AES/MS 得到结果进行对比,定量结果令人满意。