论文部分内容阅读
MEMS水听器是当前国内外声换能器领域研究的热点之一.本项目主要针对当前MEMS仿生矢量水听器灵敏度低、频响范围窄、流噪声抑制能力差的难题,基于声波连续性方程设计了一种新型"桔瓣"式封装结构,并在"桔瓣"式封装结构的基础上设计一微型导流罩,以此提高水听器的灵敏度、频响范围和流激噪声抑制能力.
MEMS仿生矢量水听器"桔瓣"式复合效应封装技术研究
【摘 要】
：
MEMS水听器是当前国内外声换能器领域研究的热点之一.本项目主要针对当前MEMS仿生矢量水听器灵敏度低、频响范围窄、流噪声抑制能力差的难题,基于声波连续性方程设计了一种新
【机 构】
：
中北大学
【出 处】
：
第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)
【发表日期】
：
2016年期
其他文献
为满足国防、生物、医疗领域的迫切需求,微纳机电系统的研究越来越受到重视.作为微纳机电系统中核心的动力结构—纳米马达是微纳机电系统研究的重要方向.但是在国内对纳米马
基于光学体视显微镜(Stereo light microscope,SLM)构建的显微视觉系统已经在微操作、微装配、微注射、微测量等领域中应用.显微视觉的量化是众多应用类别中的重要环节,传统
本研究提出一种新型驱动原理,在理想情况下基手该原理的压电马达能够具有超声波马达大功率密度的优势,同时还具有步进的距离可调的特性,更重要的是能够有效提高压电马达的能
传统的核磁共振检测装置由于其庞大的体积和高昂的制造维护成本,限制了核磁共振技术的广泛应用.核磁共振显微检测由于其无损性、低能耗性、低成本性和便携性将在显微检测领域
结构的复杂化及尺度的微型化是微纳器件发展的必然趋势,三维立体封装是实现复杂立体微结构制作以及提高设备集成度和自动化的重要方法,聚合物微纳器件的三维立体封装是实现器
高温超导磁悬浮,能实现无源的自稳悬浮,具有广泛的应用前景.特别是在磁悬浮飞轮、超导陀螺等应用中,但其在特定干扰频率下的失超问题还没有很好地解决.本研究针对实际应用中
柔性电子器件以其独特的可变形能力及高效率、低成本的制造工艺,在信息、能源和医疗等领域有广泛的应用前景.但目前其制备仍然存在一致性差、稳定性和重复性不足,不能从根本
硅基微流量传感器广泛应用于生物医学、食品安全、环境监测等关系国计民生的重要领域.本项目针对现有流量传感器在制备成本、能耗、系统封装等方面存在的不足,开展"微腔-膜-
基于热噪声原理,更长、更薄、更窄的高品质因数(Q值)微悬臂梁,是高灵敏力探测器.在制作高灵敏微悬臂梁实验中,发现SOI埋氧层薄膜会发生破裂,从而导致微悬臂梁随之折断,使得加