微纳米器件相关论文
随着微纳米器件的广泛应用,关于微纳米检测技术的研究不断深入。基于光学原理的非接触式测量,具有无损、快速、高精度的优点,是微......
结构的复杂化及尺度的微型化是微纳器件发展的必然趋势,三维立体封装是实现复杂立体微结构制作以及提高设备集成度和自动化的重要......
微/纳机电系统的迅速发展对微/纳米器件摩擦、润滑和磨损特性的研究提出了迫切的要求。本文从纳米尺度上摩擦的机理以及摩擦的本质......
本文理论研究了范德华力对纳米梁结构表面静态粘附及静电驱动纳米梁吸合现象的影响,为纳米器件的设计提供参考。首先,通过一定工艺手......
微纳米器件加工是未来制造业发展的一个主要方向。近年来,随着纳米光电子设备、航空航天技术、传感技术的发展,对加工微纳器件提出......
光刻胶作为一种对光敏感的材料,广泛应用于光电器件、微流控芯片、显示器件、微机械系统(MEMS)等器件的微纳米加工,是制备这些器件的......
在空间应用中,小尺寸MOS器件面临着空间辐射环境与常规可靠性双重挑战。国内外对考虑空间辐射因素的微纳米器件可靠性研究,由于辐射......
近些年来,传统介质集成光学器件由于衍射极限的限制,在小型化、集成化方面遇到瓶颈,而表面等离子波可以把能量高度限制在金属介质......
有害、危险环境下稀薄气体的探测一直以来都是微纳米器件研究领域的热门课题。近年来气体敏感材料切片在气体吸附脱附过程中表现出......
流质界面(气-液界面或液-液界面)对尺寸在几纳米到几十个微米的微纳米粒子有强烈的吸附作用,这种界面自组装的方法为获得具有特......
浸润性是固体表面的一个十分重要的性质,对固体表面的浸润性控制,特别是研究外部刺激对固体表面的宏观和微观浸润性的智能控制......
微纳器件由于尺寸的缩小,性能相应提高,器件的制造成本也得到降低,因此应用范围越来越广。在微纳器件领域,单壁碳纳米管和聚3-己基噻吩......
围绕“分子电子学”这一核心,按计划开展了各项研究工作,在高性能分子体系的设计与合成、低维分子材料的制备、有机单晶微纳米器件、......
微纳米级器件的加工是MEMS系统的开发、应用的应用的关键技术之一。通过切削试验,设计出能加工最小直径为7μm的微细轴的金刚石车刀......
微纳3D打印发展至今,在技术上已经取得了不少的突破和进展,尤其是柔性电子、微传感器、微流控芯片等微纳米器件具有巨大的发展潜力......