【摘 要】
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本文介绍了一种基于氧化锌薄膜的新型MEMS压电矢量水听器,从电压灵敏度和固有频率两方面理论分析了结构参数对其性能的影响,并用有限元软件对矢量水听器进行了静态和动态
【出 处】
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中国科学院声学研究所第四届青年学术交流会
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本文介绍了一种基于氧化锌薄膜的新型MEMS压电矢量水听器,从电压灵敏度和固有频率两方面理论分析了结构参数对其性能的影响,并用有限元软件对矢量水听器进行了静态和动态分析,理论结果与模拟结果一致.分析表明,当压电层厚度与硅悬臂梁厚度比为0.56时,灵敏度最大.在质量块尺寸为800μm×800μm×400μm,硅悬臂梁尺寸在400μm×200μm×5μm条件下,计算得到声压灵敏度在lkHz时达到-219dB,高于其他MEMS矢量水听器,且尺寸更小。
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