溅射离子泵相关论文
溅射离子泵又被称为潘宁泵,主要由钢制阳极筒、钛合金阴极板、铁氧体永磁铁、过载保护直流电源、不锈钢泵体等部分组成。具有工作......
溅射离子泵又称潘宁泵,是一种广泛用于超高真空系统中的清洁真空泵。溅射离子泵阳极筒空间中的电子在电磁场的作用下与气体分子碰......
本Ｂｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法。其中，应用了“......
Ti-15Mo合金带材,是一种β型钛合金;与其它β型钛合金相比,它具有成份简单、易于生产、价格便宜等优点。该合金研制过程中,在技术......
一、概述钛是一种具有优异物理机械性能和耐化学介质腐蚀的金属。与其它金属相比,它有许多可贵的差异,这些差异构成了在国民经济......
一、引言 近几年来,稀有金属的烧结和提纯,对真空电阻炉提出了愈来愈高的要求。将超高真空技术应用于冶金工业已成为急待解决的问......
报道了超高真空气相氢渗透实验装置的设计及研制。用溅射离子泵获得超高真空，监测室本底真空度为6×10~(－7)Pa。用圆弧刀口银垫片活......
随着国民经济的发展,使用真空设备的部门愈来愈多。但由于操作者缺乏真空卫生知识,造成设备真空度抽不上的毛病是屡见不鲜的。笔者......
本文详细介绍了上海光源常用溅射离子泵性能测试的方法和原理,并对极限真空度,有效抽速,洁净度进行了测试.结果表明,溅射离子泵的......
铯束管超高真空长期维持特性是铯原子钟的关键技术指标之一,真空度会影响铯原子钟的性能指标及寿命。材料表面放气率是影响铯束管......
1.引言据报导,采用不同的方法测量溅射离子泵抽速,其结果是不同的。因此有必要对最常用的几种测量方法进行系统研究。国际真空科......
一、结构原理:钛溅射离子泵是超高真空器件。在结构上它是与电子枪、加速管、偏转盒、靶室密封成一个整体的(见图1)。整个系统处......
简要介绍了我国七十年代中期以来从国外引进的多种大型表面分析仪器电子能谱仪的重要配套设备多功能样品预处理装置及国内同类产品......
为了地震监测和预报,作者研制了一套四极质谱气体分析装置。该装置可测定H_2、He、CH_4、Ne、N_2、CO、O_2、Ar和CO_2等9种气体。......
日本真空协会23届年会于1982年11月11日至13日在神户国际会议场举行。沈阳真空技术研究所姜燮昌、唐以后、上海通用机械研究所王芳......
第一期YZ—150型余摆线真空泵的研制 ……………抚顺真空设备厂 东工机械系72届真空毕业实践队(1)提高旋片泵抽气速率的探讨………......
第一期K—200、K—600扩散泵统一设计工作情况的汇报……………………………………………… 扩散泵统一设计小组(1)H—150滑伐式机......
一九八一年九月十一日至十四日在沈阳召开了真空学会真空获得技术专业委员会成立大会并进行了首届学术交流。会议上共交流了65篇论......
一、用途和基本参数 随着我国科学技术的发展,特别是通过文化大革命和批林批孔运动,我国真空行业也和全国其他行业一样有了飞速发......
本文小结了为满足电真空器件生产要求而研制的无油超高真空系统的设计思想；全无油机组设计、冷阴极溅射离子泵、钦升华泵结构选择和......
这是一本真空科学方面的优秀教科书,是当代真空技术权威M.Wutz、H.Adam和W.Walcher编写并由FDR出版公司于1982年出版。本书是在Wut......
本文评述了无油抽气技术在国内外空间环模设备中的发展和应用概况，讨论了实现无油抽气的各种技术途径，并对我国大型环模设备改为无油......
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一、问题的提出 一个以溅射离子泵为主泵的阴极实验高真空系统每次暴露大气后,离子泵的启动都很困难,并且离子泵工作几小时后,真空......
序言 本国际标准的目的,是保证溅射离子泵的性能测量尽可能地在统一的条件下有一个统一 的测量程序。希望它能使得由各制造厂或各......
为了便于使用四极质谱计分析真空系统中的残余气体,我们制做了图形系数换算器。其中,真空泵油,六氟化硫等12种是我们采用国产四极......
前言随着电子工业的迅速发展,对清洁超高真空等基础工艺提出了新的更高的要求。自一九七三年以来,我厂研制了一些长寿命、高可靠......
一 、前言 在无产阶级文化大革命取得辉煌成就,批林批孔运动普及、深入、持久发展的大好形势下,为了配合我国电子工业、国防科研等......
标准化组织(ISO)自1960年以来,就从事建立统一的真空科学技术标准的活动。这个组织总共包括十九个国家,但主要是比利时、英国(本届......
引言 粒子加速器、空间技术、电子工业等广阔的科技生产领域对无油超高真空的要求,推动了无油真空系统的研制和发展,它的使用已日......
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溅射离子泵之性能决定于它的电离速率。在低压强下，可电离的气体分子数量相应地减少。如果用一种高蒸气压的金属作放电电极，就能消除......
我厂是生产电真空器件的工厂。为了减少油蒸汽对器件的污染,原来所用的无油超高真空系统是以溅射离子泵为主体泵,尽管溅射离子泵有......
在以金属锆铝吸气剂泵为主泵,钛溅射离子泵为前级的真空系统中,用LP-4001型四极质谱计分析了锆铝吸气剂泵在不同工作条件下的吸气......
本文简要介绍一台七十米长的清洁超高真空空间环模试验设备的设计。设备的检测腔φ1.2米×L5.6米,光路管道φ0.4米×L64米。采用......
标志溅射离子泵性能的主要技术指标是泵的抽速和泵所能达到的极限真空度。这两项指标密切地依赖于泵的工作状态和泵的历史。因此,......
ＫＥＫ质子同步加速器的予注入器用了四个１０００升／秒的溅射离子系来抽双等离子体离子源的大量气体负载。为了估计泵单元的寿命，一个５００升／秒二极溅射......
详细介绍了分子泵加锆铝吸气泵真空系统试验过程。对锆铝吸气系抽气性能的测定进行了说尽的说明和讨论。根据实验成果对分子泵加锆......
目前在中小型无油超高真空抽气系统中,大多采用溅射离子泵为主体系,尽管溅射离子泵具有一系列优点,如使用简便,寿命长,耗用功率小,......
