涡轮分子泵相关论文
为了实现准确可靠的涡轮分子泵故障诊断,提出了一种基于多样性特征和多源信息的分子泵故障诊断方法。在分子泵实验台上采集到分子......
涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域，是获得超高真空环境的核心机械设备。本文从一体成型的涡轮转子的......
针对吸气式电推进系统中的气体捕集系统,提出了一种能够准确计算气体捕集率的理论模型,并以此为基础开展了气体捕集系统的优化设计......
涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法，使用COMSOL对二维模型进行计算，更新了单级叶列抽气性能参数......
分析仪器市场受医药、环保、机场安保等领域新挑战的驱动,开发出针对气体、爆炸物和蛋白质等物质的检测方法和仪器。如果没有真空......
研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置 ,该装置在 1330 0Pa典型气体采样压力下 ,三级差分抽气区的压力分别达到 ......
涡轮分子泵最初仅用来获得超高真空。目前这种泵已经广泛地应用在许多技术领域中,诸如半导体生产、电子显微镜、薄膜与核聚变技术......
日本电子公司生产的JEOL1000kV电子显微镜具有原子尺度的分辨率,称为ARM显微镜。这种显微镜的点分辨率为0.18nm,可观察到一般的金......
不需用液氮由于涡轮分子泵,运行时无碳氢污染全自动程序控制重量轻33.5公斤检漏组件与泵组件易于分开UL100PLUS 提供更多优点,主......
在卡尔·蔡司公司的DSM940、950和960系列扫描电子显微镜中,这种全数字扫描电镜DSM962被公认为最新颖的产品。这种电镜具有三个超......
真空获得涡轮分子泵与钛升华泵的组合真空系统…………………………………………………1(3)分子泵加锆铝吸气泵真空系统……………......
苏联最新出版一书──涡轮分子真空泵 共 119页,其内容丰富,篇幅短小精悍。是真空技术方面一本很有实用价值的新书。该书着重的介......
PFEIFFER—TURBO 040型涡轮分子泵 西德普法伊费尔公司最近研制成一种新式的微型涡轮分子泵──PFEIFFER-TURBO 040型泵,这是已知......
通常将油扩散泵和扩散喷射泵(油增压泵),统称为油蒸汽流泵。其工作原理与涡轮分子泵相似。在涡轮分子泵中。由高速旋转的叶片带走......
元月十六日至十八日,沈阳市通用机械工业公司组织鉴定会 议,对沈阳市真空机械二厂生产的F-600型涡轮分子泵进行产品 鉴定。东北工......
一、问题的提出 一个以溅射离子泵为主泵的阴极实验高真空系统每次暴露大气后,离子泵的启动都很困难,并且离子泵工作几小时后,真空......
一、概 述 分子泵是一种用机械手段获得超高真空的新型设备。在从10-8～10-10托较宽广的工作范围内具有恒定的抽速,并能抽除包括惰性......
涡轮分子泵是一种机械超高真空泵,能够获得清洁无油的超高真空。本文对涡轮分子泵的用途、工作原理、结构选择、设计计算等作一简......
涡轮分子泵是一种新型的超高真空获得设备,其突出优点是对分子量大的重气体有很高的压缩比,可以有效地消除碳氢化合物对被抽系统的......
引言 涡轮分子泵作为商品,自一九五八年问世以来经过二十余年的发展,已经成为一种广泛应用的“清洁”的超高真空获得设备。目前,国......
1.真空技术和低温技术19世纪中叶以来,相继发现了成为近代物理学基础的新现象和定律。其中,我们真空技术工作者最关心的是气体分......
本文利用涡轮分子泵叶片的微分电路模型,导出了涡轮分子泵压缩比与泄漏间隙、叶轮间距之间的简明关系,并提出了压缩比综合修正的方......
对涡轮分子泵的性能作了简单的总结之后就开始考虑到设计一种新式的高效涡轮分子泵。通过提高转子的转速或者改进转子叶轮的几何形......
可以概括地说，减少真空泵和真空室连接件中的气流损失就可以改进涡轮分子泵的抽速。 使用另外的与涡轮分子泵相适应的超高真空泵系......
一、概述 分子束外延(简称MBE)技术是七十年代国际上迅速发展起来的一项新技术。它是在真空蒸发工艺基础上发展起来的一种外延生长......
自从1950年Bayard-Alpert电离计发明以来,真空技术逐步向超高真空领域推进。特别是现代科学技术──原子能、电子计算机和空间技术......
涡轮分子泵，钛升华泵各自对不同种类的气体有不同的排气性能。利用它们的特性来互相弥补彼此间的缺欠而获得低的极限压强和大的抽速......
目前国外真空获得设备,广泛用在科学研究与工业生产方面,提供和控制各种处理 装置和科学仪器在运行中所必要的真空环境。一般真空......
·真空获得·国产LD_2铝合金管模拟北京正负电子对撞机束流管道的抽气实验…………………1(41)低温泵降温时间的计算………………......
真空获得化学型旋片式真空泵的研制………………………………………………………………1(15)电算法求罗茨泵转子实际型线…………......
1986年10月5日至8日由中国真空学会真空物理专业委员会、真空获得技术专业委员会在沈共同举办了现代涡轮分子泵和低温泵研讨会。在......
原第一机械工业部下达的新产品研制任务──F—3500涡轮分子泵,由承担研制单位机械工业部沈阳真空技术研究所经过三年多的努力现已......
在电视显像管的生产过程中，要求在封离之前用真空泵进行镀铝，并对装好的显像管进行抽真空。讨论了一股的真空及抽气特性．描述了同扩散......
本文介绍了兰州重离子加速器主加速器的真空系统的设计与建造。一台一百立方米整体式真空室已安装就位。真空排气系统由八台φ800......
1.引言通常认为,加常规吸附阱的双级油封机械泵,在理想条件下能获得低于10~(-3)帕的极限压强。这类泵常用作扩散泵、涡轮分子泵和......
一、前言 能量为2兆电子伏特、束流强度为200微安的JJ-2型电子静电加速器是我所元老产品,其诞生于六十年代初期,曾荣获国家新产品......
本文叙述了锆铝吸气泵的计算及参数选择方法，并以锆铝叹气泵为主泵，钛溅射离子系或涡轮分子泵为前级泵的真空系统中，用ＬＰ－４００１型四极质谱计分......
用四极质谱计对一台全金属超高真空系统进行了残气分析.发现钛钽二极式溅射离子泵能有效地抽除惰性气体,但泵停止工作后会大量解吸......
低温泵利用低冷凝和捕集来抽气,它不给被抽容器带来污染,因而是十分清洁的泵。然而早期的低温泵需用液氮或昂贵的液氦来制冷,这就......
本文介绍了一台表面分析仪的超高真空系统的设计与调试。由涡轮分子泵与钛升华泵组合抽气,真空室中最高真空度可达2.6×10~(-10)托......
