椭偏测量术相关论文
椭偏成像技术是为适应各种器件和材料小而精的趋势，在传统椭偏技术的基础上结合成像技术发展起来的一门测量技术。随着纳米技术的快......
Using e-beam evaporation, the ellipsometric parameters of thick transparent films are studied with the modified analysis......
光谱,不仅能反映出低能态的带内电子响应,还可考察电子在能带之间从占据态向未占据态跃迁的现象。在众多光学表征手段中,椭圆偏振......
椭偏测量术是一种利用光的偏振特性获取样品信息的光学测量方法，其核心是通过测量样品的反射光或透射光，从而获得偏振光在反射或透射......
偏振是光波的一个重要性质，在材料科学、光学、光工程学、通讯学和天文学等领域中，光偏振的测量具有十分重要的意义。斯托克斯参数（St......
结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.计算并分析了复灵敏度因子随薄......
介绍了一种新颖的、利用两个偏振片和一个直角棱镜测定λ/4波片实际相位延迟角(不包含整数倍2π)大小且可同时判定波片快慢轴的简......
在中国科学院重大科研装备研制项目的资助下，力学所国家微重力实验室靳刚课题组成功研制出“光谱椭偏成像系统”及其实用化样机。该......
结合激光外差干涉术和反射式椭偏测量技术,设计了一种抗干扰能力强,快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.着重分析并计算......
提出一种新的光栅测试方法--利用椭偏仪测量光栅的基本参数,同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程.首先假设一种......
讨论了三相椭偏方程对于解算膜厚大于一个周期的介质薄膜(厚膜)光学参数的原理和方法；给出了在WJZ型多功能激光椭偏仪上进行的测量......
数据处理一直是椭偏测量术获取高精度薄膜结构参数的一个难点.有研究者曾将模拟退火算法引入到单波长消光椭偏仪的数据处理中,针对......
结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.给出了光学系统设计和理论分析......
在对椭圆偏振测量的基本原理进行了简单介绍和推导后，讨论了椭圆偏振测量中椭偏参数关于薄膜参数的灵敏度以及入射角对椭偏参数的影......
