【摘 要】
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椭偏成像技术是为适应各种器件和材料小而精的趋势，在传统椭偏技术的基础上结合成像技术发展起来的一门测量技术。随着纳米技术的快速发展，该技术也呈现快速发展的趋势，在材料科学、生物学、半导体等很多领域有着广泛的应用。围绕该技术介绍它的原理和优缺点，对该技术的发展历程进行了梳理，描述该技术在材料科学、生物医学领域的应用进展，展望该技术的发展趋势。椭偏成像技术综述有助于促进该技术的发展和在更多领域的应用。
【机 构】
：
山东大学信息科学与工程学院山东省激光技术与应用重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（12074214）； 国家重点基础研究发展计划（2015CB921003）； 山东省重点研发计划（2017GGX201008）；
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椭偏成像技术是为适应各种器件和材料小而精的趋势，在传统椭偏技术的基础上结合成像技术发展起来的一门测量技术。随着纳米技术的快速发展，该技术也呈现快速发展的趋势，在材料科学、生物学、半导体等很多领域有着广泛的应用。围绕该技术介绍它的原理和优缺点，对该技术的发展历程进行了梳理，描述该技术在材料科学、生物医学领域的应用进展，展望该技术的发展趋势。椭偏成像技术综述有助于促进该技术的发展和在更多领域的应用。
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