极紫外相关论文
光刻工艺随集成电路的发展成为核心环节，被誉为集成电路制造这顶皇冠上最耀眼的明珠。而光刻技术离不开其辅助材料光刻胶，每一代光刻......
在针对芯片的“卡脖子”技术中，极紫外（EUV）光刻是最重要的一环。EUV光刻技术已经被广泛应用于最先进工艺节点的集成电路（IC）芯片制造之......
从化学元素、分子结构、光化学性能等方面，系统综述了7 nm分辨率极紫外光刻胶研究和应用新进展，展望了未来发展的方向、机遇与挑战。......
在Z-箍缩丝阵驱动的动态黑腔实验中,黑腔光谱诊断可以评估动态黑腔辐射功率,辐射产额以及辐射温度等重要参数。核物理与化学研究所......
为了提高对太阳活动等离子体运动速度探测的准确性,基于新型极紫外无缝成像光谱仪的五级次光谱成像设计,利用计算机断层成像和无缝......
The strong absorption of materials in the extreme ultraviolet (EUV) above ~50 nm has precluded the development of effici......
We fabricate and measure a multilayer-coated ion-beam-etched laminar grating for the extreme ultraviolet wavelength regi......
极紫外光刻(EUVL)技术是目前193 nm浸没式光刻技术的延伸,有望突破30 nm或更小技术节点而成为下一代光刻(NGL)技术的主流。毛细管......
Aperiodic molybdenum/silicon (Mo/Si) multilayer designed as a broadband reflective mirror with mean reflectivity of 10% ......
研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片.基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方......
实验研究了放电频率、电脉冲能量、碎屑缓冲气体流量等极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响。测试结果表明......
薄膜沉积是滤片制备过程中的核心环节,优化薄膜沉积工艺对于提高薄膜滤片的稳定性具有重要意义。本课题组采用脉冲直流磁控溅射工......
日面上的爆发活动经常与磁绳有关，而电流环不稳定性可以解释磁绳的初始抬升和爆发过程，伴随着磁绳的抬升，磁绳下方电流片的磁场重联释......
极紫外光刻技术作为下一代光刻技术,被行业赋予了拯救摩尔定律的使命。极紫外光刻胶是极紫外光刻技术的核心子技术之一,其分辨率、......
高能电磁辐射在介质表面的反射效率通常非常低,通过仿生龙虾眼睛的球形微孔结构,在微孔两个相互垂直的内壁表面形成掠入射聚焦成像......
在极紫外(EUV,5～40 nm)波段,由于光子能量已经大于大多数材料的带隙宽度,因而材料都表现出强烈的吸收性能。纳米级多层(ML)技术,通......
基于CE-3极紫外(EUV)相机最高工作温度为70℃的要求,对EUV相机的微通道板(MCP)位置灵敏阳极光子计数成像探测器实验件在70℃时的性......
利用压强升高法建立了极紫外(Extreme ultraviolet,EUV)光刻胶产气检测系统,对以分子玻璃(Molecular glass)螺芴(9,9'-Spirobifluo......
作者首次在国内开展了13nm Mo/Si多层膜残余应力的研究工作.首先从材料在极紫外、软X射线波段的光学特性出发,讨论了极紫外、软X射......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
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嫦娥三号任务是我国探月工程二期主任务,2013年12月2日嫦娥三号发射,以两器互拍为标志,获得圆满成功。嫦娥三号在动力下降、两器分......
几千年来,中国人只能遥望月球吟诗作赋,或是抒发团聚的喜悦或是寄托离别的哀愁。今天,月球终于迎来了来自中国的使者。嫦娥三号为......
论述了光刻技术发展的历程、趋势和极紫外投影光刻技术的特性,并介绍了极紫外投影光刻原理装置的研制工作.该装置由激光等离子体光......
根据空间对日观测的需要,提出了一种复合型宽波段范围的软X射线--极紫外望远镜的设计方案.该望远镜是把小结构尺寸的卡塞格林型极......
介绍了一种不同波段的超紫外望远镜在轨指向的标定方法.此方法利用四个波段(13.0,17.1,19.5,30.4nm)的超紫外望远镜均有较高的光谱......
CCD广泛用于可见光和近红外波段的成像,为了使CCD也能在紫外和极紫外波段成像,波长转换十分有用。采用对此波段敏感的荧光物质,使......
为了使单色仪在极紫外-软X射线波段准确地进行波长扫描,需要对单色仪进行波长标定。单色仪的所有组件都放置在罗兰圆的圆周上,改变......
研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片.基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方......
太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多......
简要阐述了强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法。这种膜系是由强吸收材料叠加而成，每层膜光学厚度小于四分之一个波长。与常......
衍射效率的高低是衡量极紫外多层膜光栅的最重要指标。为实现高衍射效率,必须发展合适的多层膜沉积方法,以确保在镀膜过程中光栅衬......
分析了极紫外光刻技术作为下下代光刻技术的首选技术目前飞速发展阶段的状况，表明欧、美、日、俄等国家和地区在该领域集中了大量的......
为了确保基于Schwarzschild结构的极紫外光刻掩模缺陷检测系统的成像质量,本文应用等效工作面法对其进行了优化设计。将传统光学设......
为了研究激光光源对极紫外（EUV）等离子体碎屑的影响,采用脉冲Nd∶YAG激光与CO2激光激发Sn产生等离子体,基于直接成像法,研究了等离子......
日本技术研究组合极紫外曝光系统技术开发机构成功地研制出下一代半导体曝光装置用极紫外(EUV)光源，其发光点输出达到4W，是目前世界......
本文探讨了一种可应用于极紫外光刻光学系统的离轴五反射镜系统,它在光学质量、自由工作距离方面满足了极紫外光刻商业化的要求。......
极紫外多层膜光栅是一种人造二维周期性结构,它将横向结构上的光栅衍射与深度结构上的多层膜布拉格衍射相结合,使得在极紫外波段采......
在极紫外多层膜反射镜中,基底高频粗糙度是影响多层膜反射率的重要因素.通过在粗糙基底上镀制平滑层薄膜,可以有效降低基底粗糙度.......
中国科学院研制的“大连光源”15日发出了世界上最强极紫外自由电子激光脉冲,单个皮秒激光脉冲产生140万亿个光子,成为世界上最亮......
利用遗传算法设计了工作在27.5-30.5nm、26.5-31.5nm和25.5-32.5nm波段的Mg/SiC反射式宽带多层膜偏振片.性能参数显示,宽带偏振片......
为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要,设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜。依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择......
