论文部分内容阅读
分析了极紫外光刻技术作为下下代光刻技术的首选技术目前飞速发展阶段的状况，表明欧、美、日、俄等国家和地区在该领域集中了大量的人力、物力的目标是将光刻精度提高到50nm。指出了极紫外光源是极紫外光刻的核心设备，目前的主要研究方向足提高能量转换效率和输出功率，提高系统各部分的寿命，降低成本等。
极紫外光刻光源
【摘 要】
：
分析了极紫外光刻技术作为下下代光刻技术的首选技术目前飞速发展阶段的状况，表明欧、美、日、俄等国家和地区在该领域集中了大量的人力、物力的目标是将光刻精度提高到50nm。
【机 构】
：
西北核技术研究所,EPPRASAS
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2006年6期
【基金项目】
：
欧盟资助项目（IST-2001-35254,S0ARING）
其他文献
中软译星是世界上第一款英汉机器翻译系统产品，由中国软件与技术服务股份有限公司于1988年推出。作为公司的自主技术产品，能够实现英汉、汉英、汉日等翻译功能。拥有强大的词典
通威股份动物保健研究所成立于2004年5月，系通威股份国家级企业技术中心的骨干单位，以其先进的创新理念、雄厚的研发实力及系统化建设机制，为通威的科技研发工作提供了坚实的技
对目前超大规模集成电路钨插塞化学机械全局平面化（CMP）的原理及工艺进行了分析，对钨抛光浆料的组成成分进行了研究，开发了一种能够适合工业生产的钨的碱性抛光浆料，并对钨抛光浆