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随着科技的快速发展,趋于超精密化的精密仪器在诸如光学、微电子、半导体等产业广泛应用。微振动已经成为影响其正常工作的关键因......
采用有限元分析软件SAP2000,对某微电子厂房光刻区工作平台结构进行建模分析,通过对基底输入实测微振数据,计算平台的结构微振动响......
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指出超高级别微电子洁净厂房环境参数对产品质量至关重要。介绍了与超高级别微电子洁净厂房有关的分级标准 ,并对某 0 .1 μm 1级......
基于某微电子厂房微振动实测数据,采用有限元分析软件SAP2000对结构微振动响应进行模拟分析,得出工作平台上一些点的加速度时程曲线......