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采用有限元分析软件SAP2000,对某微电子厂房光刻区工作平台结构进行建模分析,通过对基底输入实测微振数据,计算平台的结构微振动响应,得出工作平台上一些典型点在不同阻尼比时的加速度、速度和位移反应谱曲线以及时程曲线。分析结果表明,结构在不同方向具有不同的阻尼比,且阻尼比与微振动响应的反应谱峰值之间的关系可用二次曲线来拟合。