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指出超高级别微电子洁净厂房环境参数对产品质量至关重要。介绍了与超高级别微电子洁净厂房有关的分级标准 ,并对某 0 .1 μm 1级洁净厂房作了实际测试 ,给出测试项目、测试方法和使用的主要测试仪器。
超高级别微电子洁净厂房的测试
【摘 要】
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指出超高级别微电子洁净厂房环境参数对产品质量至关重要。介绍了与超高级别微电子洁净厂房有关的分级标准 ,并对某 0 .1 μm 1级洁净厂房作了实际测试 ,给出测试项目、测试
【机 构】
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天津大学; 天津大学;
【出 处】
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暖通空调
【发表日期】
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2003年03期
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