切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
器件处理相关论文
改善晶片“塌边”现象的研究
本文主要改善晶片边缘的“塌边”,提高晶片的平整度,提高衬底晶片的利用率。本文主要针对单面的旋转式化学机械抛光,系统研究了单面旋......
会议
器件处理
半导体晶片
塌边现象
化学机械抛光
转速比
降低开盒即用半绝缘InP单晶衬底表面残留硅浓度的方法
受抛光过程和环境沾污的影响,InP单晶衬底表面含有过高浓度的残留硅杂质。在外延器件中,硅杂质作为浅施主会在界面处形成n型导电层......
会议
器件处理
半绝缘磷化铟
单晶衬底
表面残留
硅浓度
化学腐蚀
看过本文同时还关注
如何写好一篇毕业论文
免费论文查重的方法
从零开始写毕业论文的方法
热心助人的动物
第一届全国脊柱脊髓基础研究及临床...
2004世界科技七大看点
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物