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在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。......
光刻技术是制造集成电路的核心技术，光刻机是制造集成电路的核心设备，照明系统是光刻机的核心部件之一。介绍了深紫外步进扫描投影光......
投影光刻机普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对投影光刻机中准分子激光器空间相干性差的特点，提出了一种混合分区......
【摘 要】本文就针对目前高分辨率投影光刻机所实现的高成像性能、高分辨率进行阐述，并对高分辨率投影光刻机系统下，不同光瞳整形技......
