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在氯化氢（HCl）合成制备三氯氢硅（SiHCl3）过程中，除主要产品SiHCl3外，还有大约15％左右的四氧化硅（SiCl4）副产品，另外还有二氯氢硅（SiH2Cl2）等。......
用SiH2Cl2在3种温度下进行了多晶硅薄膜的沉积,根据膜厚计算出了沉积速率,用SEM、XRD和薄膜应力测试仪对薄膜进行测试分析.证明用S......
多晶硅是生产太阳能电池及电子元件的基础性功能材料，是光伏产业和电子工业的基石。随着光伏产业的快速发展，我国的多晶硅产能也在迅......
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针对多晶硅生产过程精馏提纯系统SiH2Cl2累积造成系统稳定性差、产品合格率低的现象，通过对粗馏、精馏及还原提纯系列塔进行生产工......
