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在氯化氢（HCl）合成制备三氯氢硅（SiHCl3）过程中，除主要产品SiHCl3外，还有大约15％左右的四氧化硅（SiCl4）副产品，另外还有二氯氢硅（SiH2Cl2）等。在SiHCl3氢还原中，还伴随有SiHCl3的热分解而生成的SiCl4、SiH2Cl2和HCl等，
多晶硅生产中副产物SiCl4的综合利用
【摘 要】
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在氯化氢（HCl）合成制备三氯氢硅（SiHCl3）过程中，除主要产品SiHCl3外，还有大约15％左右的四氧化硅（SiCl4）副产品，另外还有二氯氢硅（SiH2Cl2）等。在SiHCl3氢还原中，还伴随有SiHCl3的热分解而
【机 构】
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江苏特华科技有限公司
【出 处】
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新材料产业
【发表日期】
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2009年7期
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