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诺发公司(NOVELLUS)宣布开通翻新系统业务，以满足特定市场区域对200mm制造设备不断增长的需求。该业务将从等离子体增强化学气相沉......
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Novellus公司近日宣布开通翻新系统业务，以满足特定市场区域对200-mm制造设备不断增长的需求。作为向200-mm制造的铝互连细分市场提......
<正>前不久,美国加州圣何塞Novellus Systems公司发布了用于300mm晶圆生产的化学机械研磨(CMP)平台,满足并超越了65nm及其以下规格......
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