MEMS谐振器相关论文
MEMS谐振器作为振荡电路中的振荡器和谐振式微传感器有着广泛的应用,挤压膜阻尼是影响其性能的重要因素。然而在大克努森数下宏观......
MEMS器件微结构的运动特性影响器件的性能和可靠性。为实现微结构周期运动过程中各个时刻的旋转角度的测量,提出一种基于傅里叶梅......
微机械谐振器作为MEMS中最常见的基础部件,其尺寸常接近于微米或者微纳米级别。由于微尺度效应的影响,气体阻尼对其品质因数有着至......
对于MEMS谐振器件,品质因数是衡量其动力学特性的重要指标。高品质因数表示MEMS谐振器件振动过程中能量损耗较慢,且具有更高的灵敏......
由于谐振频率和谐振器质量呈线性关系,基于MEMS谐振器的等效机械和电路模型,可用于质量传感器应用。然而,动态模式下的MEMS谐振器......
目前商用原子力显微镜(AFM)大多使用的微悬臂式探针,力灵敏度可达到pN级别。然而受到工艺水平及检测方法限制,微悬臂谐振频率难以......
介绍了基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS谐振器，通孔阵列和地平面形成不辐射介质波导，采用CPW电流探针与谐振腔......
为克服I^2形MEMS谐振器输入端（热执行）与输出端（压阻敏感）直接耦合所造成的输出信号品质较差的缺点，设计并制作了一种电阻差分检测电路......
MEMS谐振器采用阵列耦合设计可以降低运动电阻、提高功率处理能力等,但是阵列耦合谐振器的性能对于耦合梁结构特性非常敏感,据此分......
为测量MEMS谐振器周期运动过程中各时刻不同相位的运动特性及其动态参数,提出利用光学测量方法,设计基于机器微视觉的MEMS动态分析......
压电传导单晶硅MEMS谐振器是压电谐振器的一种，与传统的声表面波谐振和薄膜体声波谐振的不同在于使用体硅作为能量传导介质。单晶硅......
实现对MEMS的微结构平面运动幅值提取和分析,为提高MEMS器件的性能和可靠性分析提供重要参考。在连续光照明条件下,提出了一种基于......
微电子机械系统(MEMS)谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数为MEMS器件的设计提供重要参考.提出一种基于相位......
为实现MEMS谐振器在周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数的纳米精度测量，提出了一种基于块匹配的最优根值亚像素运动......
微电机系统（MEMs）是由多种学科交叉融合的跨学科研究领域。本文利用滑模变结构控制法对MEMS谐振器混沌运动进行了控制。最后用数值模......
现代无线通信技术的飞速发展使得无线电频谱资源比较匮乏,因此对于通信设备有了更为严格的要求。目前,对于易加工、重量轻、体积小......
IDT公司压电微机电系统（pMEMS）谐振器的商用振荡器。该振荡器利用pMEMS谐振器与生俱来的高频率，使其适合在设计应用中替代传统的石英......
为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数,基于频闪成像原理得到了MEMS谐振器一个周期内各时刻的清晰......
实现MEMS动态测试技术中平面微运动特性的测量，关键是记录MEMS运动过程中的瞬间运动状态，并恢复MEMS面内的运动历程．为此，介绍了光流技......
压电换能机理的MEMS谐振器近年来备受关注。压电激励的MEMS谐振器可以克服很多限制,诸如动态电阻和非线性之间的限制,以及电容式谐......
为测量微电机械系统(MEMS)谐振器的动态特性参数,根据MEMS谐振器运动图像的特点,将小波变换应用于MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中......
实现了MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数的纳米精度测量,可为MEMS器件的设计提供重要参考。提出了一......
为了准确表征微电子机械系统（MEMS）谐振器在大振幅运动时的行为特性,建立了刚度非线性MEMS谐振器集总参数模型,并创建了一整套MEMS谐......
谐振式传感器由于其重量轻、精度高、响应快在压力测量领域获得了飞速发展,传感器的构成包括机械谐振子在内的机电一体的谐振系统,......
为实现MEMS微结构周期运动过程中各个时刻的旋转角度及其动态特性参数的高分辨力测量，针对频闪成像技术获得的微结构运动图像序列，提......
谐振式压力传感器利用正反馈原理,构成包括机械谐振子在内的机电一体的高品质闭环谐振系统,闭环拓扑结构对保持机械谐振器振荡的稳......
MEMS谐振器的优点是超高的品质因数。一种新型的压电传导单晶硅MEMS谐振器的特点在于压电层驱动和单晶硅传导。由于单晶硅具有较大......
与传统石英晶体谐振器相比，MEMS谐振器具有高Q、低温度漂移、低功耗、低相位噪声及长期高稳定性等优点，特别是由于其制备工艺与CMOS......
