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实现MEMS动态测试技术中平面微运动特性的测量，关键是记录MEMS运动过程中的瞬间运动状态，并恢复MEMS面内的运动历程．为此，介绍了光流技术，并提出利用邻域优化法进行微结构运动的光流计算．组建了基于频闪成像的MEMS平面运动测试系统，通过该系统获得MEMS谐振器周期运动不同相位下的清晰图像序列．利用邻域优化计算该图像序列的光流，选取合适的邻域大小和阈值，得到了MEMS谐振器在特定驱动频率下的运动幅度-相位图及其拟合曲线，从而获得微谐振器在此驱动频率下的运动幅度值为2．12μm．实验结果表明，该方法是准确