力学量传感器相关论文
加速度传感器是一种十分重要的力学量传感器,它对于测量和控制对象的运动状态有着非常重要的意义。随着现代科学技术的快速发展,我......
简要介绍了用于苛刻环境条件下的传感器的种类,包括力学量传感器、温度传感器、气体传感器、光纤传感器等;对这类传感器的市场状况......
介绍一种硅应变计，通过使用同种材料、采用两种不同的工艺技术对比试验，测试结果表明，氮化硅钝化技术制造的产品性能优于常规半导体技......
论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析,拟合出悬臂梁的长宽厚与......
制作出一种新型结构的谐振式硅微加速度计,其输出频率信号可以克服微机电系统器件输出微弱信号检测的困难.采用双端固定音叉作为谐......
