在常温、高真空条件下,采用高纯金属镁靶和V2O5靶进行共溅射,利用镁原子的还原性,将+5价的钒还原为+4价,在硅衬底上制备钒的氧化物......

新型纳米结构的二氧化钒(VO2)热敏薄膜具有平均粒度为8 nm和在半导体相区电阻温度系数(TCR)为-6％～7％ /K.而通常用于非致冷红外探测器......

Mn-Co-Ni-O系热敏薄膜的制备工艺的改进对于薄膜微观结构及表面形貌的改善和薄膜电学性能及光学性能优化具有重要的意义。本文针对......

△颇有人情味的“保健”路标:德国的一些城市设有“保健”路标,凡是靠近医院的地方,路标上都有一个护士,她的食指靠近嘴唇。看到这......

本文阐述了用溶胶凝胶法制备ＣｏＭｎＣｕＯ等热敏薄膜的方法，研究了它们的电学性质。结果表明，薄膜的Ｒ－Ｔ特性基本符合Ｒ＝Ｒｏｅｘｐ（Ｂ／Ｔ）关系。在本文样品厚度的范围内，厚......

采用两步法工艺,即先在衬底上溅射一层金属钒膜,再对其进行氧化的方法,在硅和氮化硅衬底上制备了高电阻温度系数的混合相VOx多晶薄......

对MEMS用具有绝热性能的多孔硅基底上沉积的热敏感薄膜进行了研究.首先用电化学方法制备多孔硅,分别在多孔硅基底和硅基底上通过溅......

用离子束增强沉积法从五氧化钒直接制备二氧化钒薄膜.750℃氮气退火后,薄膜的热电阻温度系数高达4.07%.高剂量的氢、氩混合束的注......

21世纪以来,随着微型半导体加工、印刷电子以及微电子器件制备等微加工技术的发展,人们对温度传感器的智能化、微型化以及精准化的......

本文以高纯金属钒作为靶材，采用磁控溅射工艺制备氧化钒薄膜。并分析了溅射功率，基片温度和溅射气氛等对薄膜方阻值的影响。分析表明......