微加热器相关论文
微加热器是传感器中至关重要的组成部分,为传感元件提供合适的工作温度、保护传感电路以及提高传感灵敏度。随着柔性电子设备的发......
二氧化钒是一种具有特殊相变性能的功能材料.随着温度的变化,二氧化钒会发生从半导体态到金属态的可逆变化,同时,电阻率和光谱透射......
对于热催化、金属氧化物半导体、甚至红外等气体传感器而言,微加热器是一个关键元件。用于热催化、金属氧化物半导体及红外气体传......
随着MEMS技术的快速发展,基于MEMS技术的微型加热器的应用日趋广泛,因此对微加热器的研究显得越来越重要。本文设计了一款基于MEMS......
基于微机电系统(MEMS, Micro Electro Mechanical Systems)技术的微型加热器在气体传感器、微热量计、气体流量计、红外光源、微小......
微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)具有尺寸小、集成度高、耗能小、可大规模生产、工艺多样化、精度高等优点,因......
为保障煤矿的安全生产和井下人员的生命安全,开发可随身携带的瓦斯传感器对瓦斯进行实时检测十分必要。MEMS(Micro-Electro-Mechanic......
介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)系统,利用该系统进行了温度控制和响应特性研究。系统由......
以Al2O3-H2O纳米流体中的微加热器为研究对象,通过实验方法对脉冲加热条件下微加热器的温度响应曲线和气泡动力学行为进行了详细的......
设计了500×500个微加热器阵列,加热线条宽度分别为5μm,7μm,9μm.采用离子束溅射、光刻、湿法腐蚀等工艺,在Si衬底上制作了......
利用金属铂良好的热敏、热阻特性,以及Si O2良好的绝热、绝缘性能,设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气......
利用有限元分析工具ANSYS,对所设计的硅基微结构气体传感器的温度场进行了模拟.运用实体建模的方法建立了传感器衬底的多层结构模......
利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,在单晶硅衬底上,设计了一种新型微结构气体传感器的电极结构。这种共平面型电极结构消除了加热器......
设计了在128°旋转Y切割X传播方向LiNbO3基片上研制了数字微流体微加热器。它由压电基片上两个叉指换能器构成,当由功率放大器......
利用近红外光在微纳光纤传输时产生的强烈倏逝场效应将氧化石墨烯沉积在微纳光纤表面,组装成具有优异光热转换性能的氧化石墨烯一微......
热气泡式微流体驱动器是微驱动的一个研究分支,是微流控器件的重要组成部分. 热气泡式微流体驱动器没有机械可动部件和机械变形,结......
为了研究微加热膜下方的结构与微加热器性能的关系,利用数值计算与有限元仿真,研究了微加热膜下方空气隙厚度的变化对加热器性能的影......
设计制作了一种应用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的微加热器。然后按照PCR循环温度的要求,利用该加热器进行了PCR温度实验。微加......
为深入探讨微加热器表面产生周期性气泡的普遍规律,需要对微加热器的温度响应和分布进行研究.对微加热器和周围液体工质进行了无量纲......
采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模......
随着厚膜传感器不断向着微型化、集成化、非标准化方向的发展,厚膜传感器制造业迫切需要发展一种能在无掩膜的条件下,快速制备出小尺......
针对热机械式微纳米结构的加工,提出了一种以掺Al多晶硅为材料,集成于微悬臂梁上的加热器。采用Al诱导退火晶化(AIC)方法,在750 K......
在本论文中,我们实现了飞秒激光诱导金属沉积在非平面衬底上实现柔性金属布线。激光光束可在聚焦位置通过双光子吸收精确地诱导金......
学位
由微加热器和微热敏传感器组成的微型温度控制器具有尺寸小、精度高、功耗低、升温快等优点,可以广泛应用在需要温度控制的诸多领......
对PCR扩增芯片中微加热器的传热及微腔(DNA反应液腔)室的高度优化问题进行了有限元分析,通过ANSYS软件模拟分析了单蛇形、双蛇形以及......
针对PCR扩增芯片中微加热器的传热问题进行有限元分析,用计算机模拟了不同形状微加热器的温度分布,通过对比分析,得出了提高温度分......
氧化石墨烯具有良好的光热转换效率,能在微纳米尺度的区域内形成热梯度场.利用氧化石墨烯沉积在微纳米光纤表面可组成微加热器,输......
针对矿山物联网发展对甲烷传感器低功耗、微型化、低成本的设计要求,对一种基于微纳米技术的载体催化燃烧式甲烷传感器展开研究,着重......