平面电机相关论文
六自由度动磁式磁悬浮平面电机具有大行程、结构简单、精度高等特点,其动子由永磁体阵列组成,可实现六自由度无接触式运动,其定子......
磁悬浮平面电机是一种利用电磁力直接驱动电机动子悬浮和平动的新型平面驱动装置,具有结构简单、响应速度快、运动和定位精度高等......
学位
本文论述了平面磁阻电动机的位置控制方案.该平面电动机的移动平台包含6个线圈,定子平台层压的硅钢薄片构成.同传统的各个轴相互叠......
A-WD-300T全自动划片机A-WD-300T是东京精密开发的新型全自动划片机,最大可用于φ300mm硅片的划切作业,也可以兼容φ200mm硅片。它......
在光刻机硅片台高精度运动控制系统中,线缆对硅片台运动产生的扰动是一个主要的扰动源。这是由于线缆部件附加在硅片台上的扰动力......
旨在提升电机性能及推动电机微型化发展,提出了一种新型十字叠层压电定子双面驱动的平面电机,利用面外、面内弯振耦合形成的椭圆轨......
近年来,科学技术水平不断提高创新,不断产生新兴技术,但人们也开始发现,科技发展逐渐在达到边沿,需要制造更加精密的仪器设备和元......
平面开关磁阻电机在集成电路制造、精密加工以及生物医学工程等领域极具应用前景,它的可靠运行和位置控制都需要实时地获得动子位......
永磁同步平面电机是一种能够利用电磁能控制动子在平面进行多自由度运动的新型电机,与传统的平面运动机构相比,具有结构简单、出力......
一、计算机绘图的兴起与概况 自从五十年代世界上第一台自动绘图机诞生以来,计算机绘图已成为一门新兴的交叉学科。六十年代初美......
用于光刻加工的磁悬浮平面电机的6个运动自由度之间存在着紧密的电磁和力学耦合.为实现各运动自由度的解耦控制,提出了直线电机型......
以平面电机课题中采用的Halbach阵列为例，本文首先采用一种永磁阵列的通用分析方法对磁场进行了解析计算和谐波分析，接着利用ANSYS对......
本文介绍了一种新型测试PCB板性能的设备—平面电机飞针测试机。与传统的基于直线电机飞针测试机相比,该测试机具有结构简单,高速......
本文以山西省自然科学基金项目“平移磁场的电磁特性与平移运动的研究”为研究背景撰写而成。本文首先介绍了目前平面电机的国内外......
在这篇论文中，作者提出了一种基于Halbach阵列的高精度磁悬浮平面电机的结构设计思路和制造流程。这种结构的电机能够提供光刻作业......
在这篇论文中,作者对一种基于Halbach阵列的高精度磁悬浮平面电机及其控制系统进行了研究。 本课题中的平面电机样机采用四台直......
随着材料科学及先进制造业的快速发展，平面电机在精密、超精密定位设备中具有巨大的应用潜力，受到了工程界和学术界的广泛关注。本文......
随着现代工业的飞速发展以及平面电机性能的不断提高，平面电机在工业制造设备领域特别是精密、超精密加工设备领域的应用日趋广泛，受......
应用洛伦兹力公式建立了永磁同步平面电机线圈电流与线圈所受电磁推力和电磁转矩之间关系的数学模型,针对平面电机具有6个运动自由......
提出一种新型复合电流驱动的永磁同步平面电动机方案，介绍了该平面电动机的结构形式、运行原理和特点。针对其特殊结构形式和工作原......
长行程多自由度气浮平面电机广泛应用于高精度场合,如半导体制造装备、超精密仪器等.但气浮平面电机存在系统噪声大、易受外界干扰......
与由四组线圈单元驱动方式相比,三组线圈单元驱动的平面电机属于单边非质心驱动模型.为提高平面电机系统的伺服性能,需要准确的力......
随着轻量化设计的需求，磁悬浮平面电机结构质量与柔性之间矛盾凸显，使得低阶模态引起的振动将严重制约其纳米精度的生成及控制系统稳......
磁悬浮平面电机是一种新型的平面电机,这种平面电机可以实现六个自由度上的运动,可实现真空条件更适合于在光刻机中使。永磁阵列采......
以实心转子感应电机为研究对象,查阅参考国内外的相关文献,归纳总结了实心转子高速电机、旋转直线感应电机以及平面感应电机研究现......
针对平面电机调速系统在PID控制下控制性能差的问题,文章提出了自抗扰控制方案,在突加负载或扰动时,用自抗扰控制器进行估计、补偿......
分析了平面电机的结构及其原理，提出了相应控制技术。对平面电机的驱动力进行解耦，讨论了磁场非均匀性及磁场耦合对平面电机驱动力非......
提出基于异形板振动驱动的平面运动电机新原理,以异形板的两纵杆上端作为驱动足。利用两纵杆的面内一阶反对称纵振分别与面内二弯......
提出十字形压电振子同型模态驱动的压电平面电机新原理，选定该振子的面外弯振、面内横杆弯振、面内纵杆弯振为工作模态，利用面外弯振......
利用Maxwell3D电磁场有限元分析软件对开关磁阻平面电机结构进行优化设计。对两种电机结构（动子宽齿结构、动子等齿结构）进行3D静磁......
针对传统基于单片机的电机控制系统在工作速度低、精度低和稳定性差的问题，设计了基于DSP的平面电机控制系统，该系统主要由控制器模......
开关磁阻平面电机具有结构简单、运行可靠、控制方便等优点,在生产生活中应用广泛.然而其磁路特有的非线性结构,给电机的结构分析......
文中对影响平面电机绘图机刻图质量的几个问题进行了理论分析，并提出相应的解决办法，对提高其刻图质量，具有实际的参考价值。......
为了加快开关磁阻平面电机的开发与应用，详细阐述了开关磁阻平面电机的组成结构和运行机理。对气隙磁导进行计算，并推导出动子3个特......
开关磁阻平面电机具有结构简单,运行可靠,控制方便等优点,在生产生活中具有很广泛的应用。由于电机本身具有的非线性特性而引发的......
平面感应电机是一种新结构电机。本文利用电磁场方程研究其性能,得到了电机次级电磁力矩、电磁功率、效率和功率因数的函数式,为平......
针对精密微动平面电机电流驱动特点及其功率驱动器高线性度要求,提出了一种高线性的功率驱动器电路设计.该电路采用电流负反馈技术......
论述了一台应用于工业位置控制的新型平面开关磁阻电动机。该二维电机机械结构简单，性能可靠，并且可以工作在恶劣的环境中。由于该电......
提出了一种基于DSP的精密直流伺服驱动器设计方案,采用基于PI2算法的电流负反馈,及电流输出零点自校正算法等控制策略,应用于平面......
半导体光刻加工中，平面电机的6个运动自由度之间存在着紧密的电磁和力学耦合，为实现对这6个运动自由度的解耦控制，首先提出了作为执行......
针对磁浮平面电机Halbach磁钢阵列,分析改变磁钢形状对空隙磁感应强度的影响,即用梯形磁钢替换矩形磁钢。通过傅里叶级数和磁标势......
目前,诸如集成电路制造、微机电系统加工制造等产业都对多自由度精密定位平台有着十分迫切的需求。研制一种具有多自由度、定位精......
