对向靶溅射相关论文
<正>尽管Fe_(16)N_2的结构早已为人们所知“‘，但对其研究的巨大兴趣则始于发现其奇异的高饱和磁化强度（Bs一258 T严之后．制备高含量......
利用对向靶溅射，同时对基片进行退火处理的方法，在玻璃基片上成功地制备出了NdFe7-xMox（x=0，0．5）薄膜，并对其进行了磁性研究。VSM测量结果......
尽管Fe_(16)N_2的结构早已为人们所知“‘，但对其研究的巨大兴趣则始于发现其奇异的高饱和rrrrrrrrn磁化强度（Bs一258 T严之后．制备高......
用对向靶溅射方法制备出氮化铁梯度薄膜。利用X射线光电子能谱（XPS）对样品进行了深度剖面分析：铁原子和氮原子的百分含量沿膜厚方向呈......
本实验用对向靶溅射仪分别在S(100),NaCl单晶衬底上成功地制备出具有高饱和磁化强度的(Fe,Ti)-N薄膜,研究了氮气分压和衬底温度对......
用对向靶反应溅射法制备了α″-Fe16N2薄膜,用X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和振动样品磁强计(VSM)对α″-Fe16N2的结构、......
用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料．卢瑟福背散射分析结果表明，铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化．在薄膜......
α＾〃－Ｆｅ１６Ｎ２的结构及其高饱和磁化强度是磁性材料研究中最有争议的问题。本文用对向靶反应溅射法制备了α＾〃－Ｆｅ１６Ｎ２薄膜，用Ｘ射线衍射（ＦＸＲＤ）、透射电子显微......
用对向靶溅射仪制备出含多量Ｆｅ（１６）Ｎ２相的（Ｆｅ，Ｔｉ）－Ｎ薄膜，研究了掺杂Ｔｉ对Ｆｅ－Ｎ薄膜结构与磁性的影响，在溅射Ｆｅ－Ｎ薄膜时加入适量的Ｔｉ可提高Ｆｅ－Ｎ薄膜中Ｆｅ（１６）Ｎ２相的含量．Ｔｉ含量（原子分数......
用对向靶反应溅射制备的ＡｌＮ薄膜，高气压为取向，低气压下为取向，精确测量ＸＲＤ衍射峰位可看出ＡｌＮ薄膜有较大应力。对硬度的测量发现ＡｌＮ薄膜硬度较大，取......
使用对向靶溅射系统制备ＣＮ膜。研究了膜的结构和Ｃ与Ｎ之间的键态。膜为非晶结构，Ｎ／Ｃ随Ｎ２分压增大而增大，Ｎ与Ｃ的键合优先形成Ｎ－ｓｐ＾２Ｃ，Ｎ－ｓｐ＾３Ｃ的含量随Ｎ／Ｃ上升而增大。......
使用对向靶系统在Ｓｉ（１００）基片上于不同Ｎ２分压下制备ＣＮ膜样品。Ｘ射线衍射表明样品为非晶结构。用Ｘ射线光电子谱测量膜中Ｎ的含量，结果表明膜中／Ｃ随Ｎ２分压......
用对向靶溅射方法制行出氮化铁梯度薄膜。利用Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）对样品进行了深度剖面分析，铁原子和氮原子的百分含量沿膜厚方向呈梯度......
用对向靶反应溅射法制备了α″－Fe16N2薄膜，用X射线衍射（XRD）透视电子显微镜（TEM）和振动样品磁强计（VSM）对α″－Fe16N2的结构、磁性以及结构......
本实验用对向靶溅射仪分别在Ｓｉ（１００），ＮａＣｌ单昌衬底上成功地制备出具有高饱和磁化强度的（Ｆｅ，Ｔｉ）－Ｎ薄膜，研究了氮气分压和衬底温度对结构与磁性的影响。氮气......
用对向靶溅射制备了ＮｉＣｒ－ＮｉＳｉ薄膜热电偶，实现了薄膜民分与靶材基本一致。对热电偶进行动态特性测试表明，薄膜热电偶的时间常数τ随膜厚变薄而......
利用对向靶溅射，同时对基片进行退火进行处理的方法，在玻璃基片上成功地制备出了ＮｄＦｅ７－ｘＭｏｘ（ｘ＝０，０．５）薄膜，并对其进行了磁性研究，ＶＳＭ测量结果表明，，Ｍｏ掺入导致了材......
