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使用对向靶溅射系统制备ＣＮ膜。研究了膜的结构和Ｃ与Ｎ之间的键态。膜为非晶结构，Ｎ／Ｃ随Ｎ２分压增大而增大，Ｎ与Ｃ的键合优先形成Ｎ－ｓｐ＾２Ｃ，Ｎ－ｓｐ＾３Ｃ的含量随Ｎ／Ｃ上升而增大。Ｎ含量进一步增大时，出现新的键态，Ｎ－ｓｐ＾３Ｃ含量下降。
对向靶溅射制备CN膜的键态
【摘 要】
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使用对向靶溅射系统制备ＣＮ膜。研究了膜的结构和Ｃ与Ｎ之间的键态。膜为非晶结构，Ｎ／Ｃ随Ｎ２分压增大而增大，Ｎ与Ｃ的键合优先形成Ｎ－ｓｐ＾２Ｃ，Ｎ－ｓｐ＾３Ｃ的含量随Ｎ／Ｃ上升而增大。Ｎ含量进一步增大时，出现新的键态，Ｎ－ｓｐ＾３Ｃ含量下降。
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1999年5期
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