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用对向靶反应溅射制备的ＡｌＮ薄膜，高气压为取向，低气压下为取向，精确测量ＸＲＤ衍射峰位可看出ＡｌＮ薄膜有较大应力。对硬度的测量发现ＡｌＮ薄膜硬度较大，取向对硬度没有影响。
对向靶反应溅射制备AlN薄膜的结构及物性
【摘 要】
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用对向靶反应溅射制备的ＡｌＮ薄膜，高气压为取向，低气压下为取向，精确测量ＸＲＤ衍射峰位可看出ＡｌＮ薄膜有较大应力。对硬度的测量发现ＡｌＮ薄膜硬度较大，取向对硬度没有影响。
【机 构】
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广西大学材料科学研究所
【出 处】
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广西大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1998年2期
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