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　　本文采用实验的方法，选用结合ST-90°X石英基片与SU-8波导层的Love波器件结构，研究SU-8厚度对器件温度稳定性的影响，从而获得趋于......

随着深亚微米时代的到来,工艺的不断进步,器件尺寸成比例缩小,IC的抗静电能力显得更加重要,本文综述了部分器件结构,参数及工艺流......

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