【摘 要】
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Abstract: In order to solve the problem of high precision, complete electric insulating detection of the pressure measuring system, we have developed the three
【出 处】
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Semiconductor Photonics and Technology
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Abstract: In order to solve the problem of high precision, complete electric insulating detection of the pressure measuring system, we have developed the three - beam interferometer. In this paper, the operation principle, structure of the system and measuring results are given.
Abstract: In order to solve the problem of high precision, complete electric insulating detection of the pressure measuring system, we have developed the three-beam interferometer. In this paper, the operation principle, structure of the system and measuring results are given.
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