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本文介绍了束致变蚀技术在国际上的发展历史和现状,对离子束增蚀/抗蚀现象及有关机理进行了阐述。并对此新工艺进行了综合评价与前景展望。
利用束致变蚀进行微细图形加工
【摘 要】
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本文介绍了束致变蚀技术在国际上的发展历史和现状,对离子束增蚀/抗蚀现象及有关机理进行了阐述。并对此新工艺进行了综合评价与前景展望。
【机 构】
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中国科学院微电子中心,中国科学院微电子中心
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1991年6期
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