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制备了一种基于Pb（Zr52Ti48）03（PZT52）材料的自适应光学用压电驱动器。驱动器采用鼓膜结构，其工作区域由主动层～PZT52压电层和被动层一Zr02／Si复合层两部分构成。PZT52压电层采用环形叉值电极（IDT）驱动。采用Si（100）单晶作为衬底，并采用溶胶一凝胶（Sol—gel）法在其上制备Zr02阻挡层和PZT52压电层，其中引入PbTi03（PT）种子层有利于PZT52膜层的（110）择优取向。随后在其上热蒸镀A1顶电极，并采用光刻方法制备图形，得到的IDT电极最大环形直径为10．5