交叉指形电极压电驱动元件研究

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交叉指形电极压电驱动元件采用交叉指形电极取代普通的平面电极,此电极同时为制备过程的中极化电极和工作电极,使极化方向和工作主方向一致,使用了较大的压电常数d33或e33,所以与普通电极压电驱动器相比,交叉指形电极压电驱动器在主方向上的应变和应力可以提高很多。而且电极形式的革新,使得压电驱动器在驱动平面内具有正交各向异性的优良特性。交叉指形电极和压电纤维复合材料技术相结合改善了纯陶瓷压电元件脆性大的缺点使之具有较高的韧性,扩展了压电驱动器的应用范围。本文采用有限元软件ANSYS,分析了交叉指形电极压电纯
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