论文部分内容阅读
提出了一种用于MEMS变形镜的双电极驱动的压电陶瓷（PZT）厚膜致动器．采用有限元方法分析致动器变形时的应力分布情况，优化了内外圈电极尺寸，制作了61单元六边形分布的致动器阵列．测试结果表明，致动器在100V工作电压下的；中程约为6．6μm，谐振频率为58kHz，位移迟滞为8％～9％，通过采用单边电压一位移曲线的策略有效降低了位移迟滞，并进一步提出了分时驱动的电路方案．