【摘 要】
：
介绍了高分辨X射线衍射(HRXRD)面扫描技术在评估4H-SiC抛光片整体结晶质量方面的应用。对4H-SiC抛光片整片及局部特定位置进行HRXRD摇摆曲线面扫描,并拟合摇摆曲线半高宽(FWH
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十六研究所; 深圳大学;
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(51702297);国家重点研发计划资助项目(2017YFB0404103);天津市科技计划资助项目(17YFZCGX00520,17ZXCLGX00020)
论文部分内容阅读
介绍了高分辨X射线衍射(HRXRD)面扫描技术在评估4H-SiC抛光片整体结晶质量方面的应用。对4H-SiC抛光片整片及局部特定位置进行HRXRD摇摆曲线面扫描,并拟合摇摆曲线半高宽(FWHM)峰值得到的极图,观察4H-SiC抛光片表面的FWHM分布范围、分布特点和多峰聚集区。结合表面缺陷测试仪和偏振光显微镜测试方法,对因螺旋生长产生的晶界分布聚集区以及边缘高应力晶界聚集区进行了表征。二者测试结果与HRXRD摇摆曲线面扫描的结果一致。对多片样品在不同区域使用不同测试方法得到的结果均验证了HRXRD摇摆曲线面扫描可以宏观识别晶畴界面聚集区,清楚辨别出位于晶片中心附近由于螺旋生长面交界形成的晶畴界面,以及位于晶片边缘、受生长热场影响晶粒畸变产生的高应力晶畴界面。
其他文献
广州话的后置修饰成分很丰富,迄今学界讨论得比较多的有“晒、埋、住、翻、先、添、紧、亲、过……”等等(詹伯慧,1958;施其生,1995)。本文所讨论的后置修饰成分“取”存在于
研究章学诚的史学思想 ,“六经皆史”论是无法回避的问题。对此 ,不少史家都提出过自己的看法 ,歧见迭出。实际上 ,章学诚的“六经皆史”学说是与他的史学变革理论密切相联的
人们总认为心理健康问题或精神问题离自己很远,学校新生在第一堂心理健康课时也有类似疑惑:为什么这是人人都要上的必修课?其实心理健康和精神问题与每个人都相关。社会民众
通过室内水泥土和现场桩体不同龄期、掺入比等条件下的强度对比试验，分析了搅拌桩桩体强度变化规律和桩体强度折减系数的取值范围。
不久前，读了克里斯托弗·彼得森的《积极心理学》这本书，作为一名学校心理教育工作者，触动很大，仿佛有一缕阳光透进，以一种独特的视角，照亮彼此的心扉，让你发现之前对心理学的认
我国心理健康教育存在着社会幸福与个人幸福相互脱节、心理幸福与道德幸福混为一谈、幸福的内容与形式相脱节、幸福追求过程与结果出现偏差等问题。心理健康教育的最终目的是
<正>随着中国国民收入的增长,中国国民的消费水平进入一个新的阶段。在此阶段,作为医疗保健产品中重要成员的医疗器械也成为市场消费的热点之一,家庭医疗器械、美容医疗器械
中共十一届三中全会前后的拨乱反正,是"文化大革命"结束后共和国历史进程中实现由乱到治的一个重大转折阶段。拨乱反正是在冲破"两个凡是"的重重阻力中艰难起步,在十一届三中
近几年来，税控加油机的运用为税务机关在税收管理上提供了有效的监控途径，有利防止加油站销售油品的偷税行为。但是仍有少数加油站把偷税之手伸向了税控加油机，致使税控加油机失
<正>绥宁县位于湖南省西南部,东邻武冈县、城步苗族自治县,西连靖州苗族侗族自治县、会同县,南抵通道侗族自治县,北接中方县和洞口县,处于湘中通往广西、贵州的交通要道上。