【摘 要】
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用化学气相沉积法(CVD法)制造低损耗导光纤维是非常有效的。但是,要获得足够厚的均匀的玻璃薄膜以便批量生产纤维,这个方法的代价是沉积速率太低。在提高沉积速率方面,我们
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用化学气相沉积法(CVD法)制造低损耗导光纤维是非常有效的。但是,要获得足够厚的均匀的玻璃薄膜以便批量生产纤维,这个方法的代价是沉积速率太低。在提高沉积速率方面,我们已获得成功,与以前的气相沉积法
It is very effective to fabricate low loss light guide fibers by chemical vapor deposition (CVD). However, to obtain a sufficiently thick uniform glass film to mass produce fibers, this method has the disadvantage that the deposition rate is too low. We have succeeded in improving the deposition rate, in contrast to the previous vapor deposition method
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