论文部分内容阅读
介绍了离子束溅射技术改善薄膜均匀性的两种方法。研究了修正板技术，根据工程需要将修正板技术应用于行星转动条件下的光学薄膜的均匀性修正。分别研究了靶摆动和不摆动的情况下，淀积薄膜的均匀性修正。实验结果表明，修正后的均匀性结果优于1％，能满足实际应用的要求；靶摆动修正的均匀性结果优于修正板技术。
离子束溅射淀积光学薄膜的膜厚均匀性实验
【摘 要】
：
介绍了离子束溅射技术改善薄膜均匀性的两种方法。研究了修正板技术，根据工程需要将修正板技术应用于行星转动条件下的光学薄膜的均匀性修正。分别研究了靶摆动和不摆动的情况
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所
【出 处】
：
光电工程
【发表日期】
：
2004年B12期
其他文献
在社会不断发展的过程中，蔬菜一直作为人们生活中必不可少的物品，它的安全性对于人民生活是很重要的。现代生活中普遍存在着蔬菜汇总有机磷农药的残留，造成这种现象的原因有很多，一般这种都是通过一些方式来检测出来的，接下来就介绍农药残留物的检测方法和农药前的处理方法。 农药残留物的检测方法 农药残留物对人们的身体有一定的危害，生活中常见的农药残留物主要是有机氯农药、有机磷农药以及其他农药，要将这些进行检
仿真研究了H-S测量2M因子等光束质量指标的全过程和可行性。结果表明,由H-S测量的圆形光束的2M因子值与原始光束的2M因子值基本相当,有很好的一致性。由此认为,H-S除了可以评价远场测量系统探测得到的光斑的各种量,比如PSF,OTF,衍射极限,环围能量等远场特性,而且还可以从2M因子来说明光束质量的特性。
中西饮食文化的差异性餐饮产品由于地域特征、气侯环境、风俗习惯等因素的影响，会出现在原料、口味、烹调方法、饮食习惯上的差异。正是因为这些差异，餐饮产品具有了强烈的地域
由模型参考自适应控制原理,采用李雅普诺夫函数稳定性分析方法,分别给出了基于Stribeck非线性摩擦模型和库仑摩擦模型的低速补偿自适应控制律,并进行了低速性能实验对比研究.
以北京某国家级开发区为重点研究对象,对我国经济技术开发区再生水用水量特点进行归纳总结,研究结果表明,目前我国各经济技术开发区的用水量需求普遍较大,与水资源短缺的矛盾
基于非成像光学的光学扩展量概念,结合冷反光碗方程,将光源发光弧长内部的强度分布和角度分布作为权重函数,导出了出射光斑的光能量分布,分析了带反光碗的超高压汞灯出射光斑
山茶油(Camellia oil)又称茶籽油、茶油等，从油茶籽中提取的优质保健食用油脂，是一种健康的天然绿色食品，有“长寿油”、“油中之王”等美誉，被美国卫生研究院营养合作委员会主席