一种微机械谐振传感器的驱动控制

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微机械谐振式传感器广泛使用静电自激驱动,自激驱动反馈环路有非线性环和线性环,线性环路电路结构复杂,调节参数多,易引入噪声,影响传感器的分辨率.以微机械谐振式加速度计为研究对象,建立加速度计的数值仿真模型并采用静电自激驱动;反馈环路采用非线性环,并利用函数描述法分析传感器系统的稳定性.数值仿真实验表明:在封装品质因数大时,非线性反馈环构成的自激驱动电路需系统等效电路中线性环节和非线性环节满足三个条件,同时非线性部分的高阶谐波响应影响相位平衡,会造成系统谐振频率和振动幅度的偏差.
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