微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路研究

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:brianwang1982
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本文分析了微机械谐振传感器的闭环工作特性,在此基础上研究了微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路的设计原则,研制出闭环恒幅驱动电路,并在微谐振式真空传感器和双框架微谐振陀螺上得到应用。
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