FeCo-Al2O3纳米颗粒膜的TEM观察

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自从1988年在Fe/Cr多层膜中发现巨磁电阻效应(GMR)以来,GMR薄膜以其丰富多彩的基础研究内涵和在磁记录介质和传感器等领域宽广的应用前景而成为近年来薄膜研究的热点之一.而随后在Co-Cu、Co-Ag等纳米颗粒膜中也发现了巨磁电阻效应,纳米颗粒膜更以其简便的制备工艺而倍受青睐.虽然目前人们对颗粒膜的GMR效应提出了一些理论解释[1,2],但是这些理论不能完全解释实验中所观察到的现象,因此有关颗粒膜的微结构与GMR性能的内在关系仍有待进一步的研究.本文采用多靶磁控溅射方法制备了一系列不同体积分数(25~51vol.%FeCo)的FeCo-Al2O3纳米颗粒膜,研究了其微结构和GMR性能的关系.
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