随着电磁器件小型化和高性能发展的需要，对软磁材料提出了更高的要求。软磁材料必须具有高磁导率、高饱和磁化强度、高电阻率和适当大的各向异性，以便有效降低涡流损耗、提高截止频率。金属-绝缘体纳米颗粒膜是一种新型的软磁材料，它利用金属材料的高磁导率和绝缘体材料的高电阻率，使得在一种材料中同时具有高磁导率和高电阻率成为可能，因此这类颗粒膜材料已经成为软磁材料研究的热点之一。 本文中，我们利用射频磁控溅射方法制备了Fe65Co35-SiO2和Fe65Co35-MgF2系列纳米软磁颗粒膜。利用X-ray衍射和TEM得到了样品的微观结构信息；用VSM和直流四端法等系统地研究了样品的磁性和电性；利用短路微扰传输线法测量了样品的高频特性；主要得到了以下结论： 一、结构 利用射频磁控共溅射方法成功制备了Fe65Co35-SiO2和Fe65Co35-MgF2系列颗粒膜。HRTEM明场像显示样品由纳米级(3～7nm)的磁性金属颗粒均匀地镶嵌在SiO2绝缘介质中构成，其金属颗粒尺寸随金属体积分数的减小而减小。电子衍射环证明磁性金属颗粒为体心立方晶体结构。另外，X-ray衍射和HRTEM研究表明样品的晶粒尺寸基本等于颗粒尺寸，这说明一个颗粒只包含一个晶粒。 二、磁性 (一)Fe65Co35-SiO2系统(1)系统地研究了矫顽力Hc随磁性颗粒体积分数x的变化关系。在x=0.7-0.48的宽成分范围内，得到了很好的软磁性能。最小Hc为1.7Oe，最大不超过4.0 Oe。如此宽成分范围内获得优异软磁性能在金属-绝缘体颗粒膜中并不多见。我们认为，这种在很宽的成份范围内矫顽力都比较小的现象是由于铁磁颗粒间的交换耦合所致。对于Fe65Co35-SiO2系统，由于Fe65Co35的铁磁性交换长度Lex较大(～26.0nm)，使得在很宽的成份范围内，颗粒大小和间距之和都远小于Lex，从而在该成份范围内，颗粒间会发生交换耦合。由于交换耦合使颗粒的磁矩趋向平行排列，从而平均了单个颗粒的磁晶各向异性，并克服了退磁效应，使得样品的平均各向异性显著降低，因此有效地地降低了矫顽力。 (2)研究了磁各向异性场Hk随x的变化。结果表明随着x的减小，样品的Hk与Hc的变化趋势相反，先增大后减小，在0.48100，铁磁共振频率fr也高达2.4GHz，具有很好的高频应用前景。 四、FeCo-SiO2样品的传输性质以往对金属—绝缘体颗粒膜的输运性质研究主要集中在介质区，而本工作中，我们系统地研究了Fe65Co35-SiO2金属—绝缘体颗粒膜在全成分范围内的输运性质。 (一)在金属区，即x>0.68时，ρδ∝T2，电阻温度系数为正，即具有金属性导电机制。 (二)在过渡区，当0.48